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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：一种反应器系统，配置为使用阀脉冲来控制前体压力，作为衬底或其他处理的一部分。反应器系统中的控制器运行压力控制模块，以处理来自压力传感器的压力信号，该压力传感器感测设置在反应室和前体源容器之间的蓄压器内的压力。基于蓄压器的压力设定点和感测的压力反馈，控制器产生阀控制或阀脉冲信号，以操作一个或多个填充阀，该填充阀用于控制来自前体源容器的气体例如前体对蓄压器的填充。填充阀可以是高速隔膜阀，其配置为在高温应用中完全打开或完全关闭，并且控制信号使阀快速脉冲打开和关闭以调节蓄压器内的压力。
主权项：1.一种控制反应器系统中的前体压力的方法，包括：在数据存储中，存储蓄压器的压力设定点，该蓄压器适于存储前体并适于在衬底处理期间将前体排放到反应室；用压力传感器感测蓄压器内的压力，并且作为响应，产生指示压力的信号；用控制器处理来自压力传感器和压力设定点的信号；以及基于该处理，产生用于填充阀的控制信号，填充阀可操作以用来自存储在前体源容器中的一定体积前体中的前体充注蓄压器，其中，控制信号使填充阀在衬底处理期间在关闭位置和打开位置之间反复脉冲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 控制前体压力的阀脉冲
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