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申请/专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
摘要：本发明涉及半导体激光器技术领域，具体是一种激光二极管绝缘散热器的制备方法。本发明通过对覆铜陶瓷基板依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀，再在覆铜陶瓷基板的正面贴膜保护，背面化学镀银，结束后除去贴膜，激光打孔，切割形成通孔，得到覆铜陶瓷基板A。取3块铜片依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀，分别得到两层微通道层和一层引导层，再将刻蚀后的表面依次进行化学镀银、电镀银、电火花线切割。最后将覆铜陶瓷基板A、微通道层、引导层进行叠加、真空烧结、线切割、研磨抛光、化学镀镍金、涂覆环氧化聚氨酯涂料，制备得到成品。本发明制备得到的成品具有良好的散热能力和耐腐蚀性能，因此在半导体激光器技术领域具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种激光二极管绝缘散热器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：将覆铜陶瓷基板依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀，再在覆铜陶瓷基板的正面进行贴膜保护，背面进行化学镀银，结束后除去贴膜，激光打孔，切割形成通孔，得到覆铜陶瓷基板A11；步骤二：取3块铜片依次进行贴膜、曝光、显影、刻蚀，分别得到两层微通道层12和一层引导层13，再将刻蚀后的表面依次进行化学镀银、电镀银、电火花线切割；步骤三：按照覆铜陶瓷基板A11、微通道层12、引导层13、微通道层12、覆铜陶瓷基板A11的顺序叠放，压紧，形成热沉结构1，再依次进行真空烧结、线切割、研磨抛光、化学镀镍金，得到成品。
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权利要求：
百度查询： 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 一种激光二极管绝缘散热器的制备方法
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