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申请/专利权人：无锡极电光能科技有限公司
摘要：本发明提出了一种蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池，该蒸镀设备包括：第一腔体，所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构；第二腔体，所述第二腔体内设置有蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同，以在所述基片上蒸镀不同材料形成电池片；隔离门，所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通，所述取片机构用于传送基片和电池片。由此，上下料均在第一腔室内完成，缩短设备长度，能够实现不间断镀膜，节省成本；第二腔体可同时完成多种材料的蒸镀，使电池片在不破空的条件下完成全部功能层的制备。
主权项：1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：第一腔体，所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构，所述基片支架用于放置基片和或电池片，所述抽真空系统用于对所述第一腔体进行抽真空；第二腔体，所述第二腔体内设置有蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同，以在所述基片上蒸镀不同材料形成所述电池片；隔离门，所述隔离门设置在所述第一腔体和所述第二腔体之间，且当所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通，所述取片机构用于将所述基片从所述第一腔体传送至所述第二腔体内或将所述电池片从所述第二腔体传送至所述第一腔体内;所述第一坩埚设置在所述第二腔体的底部，所述第一坩埚的开口与所述第二腔体的顶部正对；所述第二坩埚设置在所述第二腔体的底部或侧壁，所述第二坩埚的开口的延伸方向与所述第一坩埚的开口的延伸方向相交；所述第一坩埚设置为填装有机物；所述有机物包括FAI、MAI中的至少一种；所述第二坩埚设置为填装无机物；所述无机物包括KI、PbI2、CsI中的至少一种；所述第一坩埚与所述第二坩埚之间设置有第四挡板。
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