龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：易案爱富科技有限公司
摘要：本发明涉及金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法。根据本发明的金属膜蚀刻组合物包含过氧化氢、有机酸、二元醇系高分子和水，pH范围为3.0至4.4，相对于硅膜、透明导电膜等下部膜，具有对铜、钼等金属膜的高选择比或无限选择比，在相对高的pH范围内双氧水稳定性也优异，即使蚀刻重复进行而再使用多次，也能够持续维持初期优异的特性。此外，不仅在蚀刻时能够实现线性优异的带状轮廓，而且具有CD损失CDloss减少和抑制残渣产生的特性优异的效果。此外，由于组合物具有高稳定性，从而具有在使用前或使用后也能够持续地维持初期优异的特性的得到提高的保存稳定性，具有蚀刻时不产生析出物且能够抑制发热的效果。
主权项：1.一种金属膜蚀刻组合物，其特征在于，包含10至40重量％的过氧化氢、0.1至10重量％的有机酸、0.1至5重量％的二元醇系高分子和余量的水，所述有机酸包含亚氨基二琥珀酸和亚氨基二乙酸，所述有机酸还包含选自丙二酸、乙醇酸、乙酸、甲酸、柠檬酸、草酸、丁酸、戊酸、丙酸、酒石酸和葡萄糖酸中的任一种或两种以上，pH范围为3.0至4.4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易案爱富科技有限公司 金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号