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申请/专利权人:上村工业株式会社
摘要:一种工件保持夹具1A,包括第一框体11和第二框体12,两个框体11、12分别具有:主体13;导电构件15;设置成能与工件10的周缘部电接触的接触构件16;以及遍及主体13的整周设置的内周密封构件17,两个框体11、12在各个内周密封构件17以及接触构件16从两侧与工件10的周缘部抵接的状态下构成对工件10的周缘部、两个框体11、12的导电构件15、两个框体11、12的接触构件16进行收容的密封空间,第一框体11和或第二框体12具有用于将液体填充于密封空间的液体注入口,此外,具有用于将密封空间内的空气排气的排气口。
主权项:1.一种工件保持夹具,用于对作为电镀处理的被处理物的板状工件进行保持,其特征在于,包括第一构件和第二构件,将所述工件保持在两个所述构件之间,所述第一构件以在与所述第二构件之间对所述工件的周缘部进行保持的方式安装于所述第二构件,所述第一构件和所述第二构件中的至少一方是框体,所述框体具有:环状的主体;导电构件;接触构件,所述接触构件设置成以能与所述工件的所述周缘部电接触的方式与所述导电构件电连接;以及内周密封构件,所述内周密封构件以遍及所述主体的整周的方式设置于比所述接触构件更靠内侧的位置,所述第一构件具有第一凹部,所述第二构件具有第二凹部,在所述第一构件以所述第一构件的所述第一凹部与所述第二构件的所述第二凹部对齐的方式安装于所述第二构件的状态下,所述第一构件和所述第二构件在所述内周密封构件以及所述接触构件与所述工件的所述周缘部抵接的状态下,在所述第一凹部和所述第二凹部的内侧构成对所述工件的所述周缘部、所述导电构件和所述接触构件进行收容的密封空间,所述第一构件和所述第二构件具有用于将液体填充于所述密封空间的液体注入口,所述第一构件和所述第二构件具有用于将所述密封空间内的空气排气的排气口,所述液体注入口和所述排气口通过所述第一构件的所述第一凹部和所述第二构件的所述第二凹部对齐而形成。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上村工业株式会社 工件保持夹具以及电镀装置
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