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申请/专利权人：南京尚科得科技发展有限公司

申请日：2018-12-26

公开（公告）日：2024-08-30

公开（公告）号：CN109537035B

专利技术分类：

专利摘要：本发明公开枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，包括传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室；传动机构包括入料传送开口和出料传送开口，入料传送开口和出料传送开口底部均固定设置有第一电机和传动装置，传动装置上部固定设置有支撑板，传动装置与支撑板中部水平设置的传动辊联动；第一冲洗室包括第一固定架，第二冲洗室包括第二固定架，第三冲洗室包括第三固定架。本发明通过设置传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室，使得晶圆被传动辊单方向进行传动，有效降低电镀化学品的设备和维护成本。

专利权项：1.枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，其特征在于，包括传动机构1、第一冲洗室2、蚀刻室3、第二冲洗室4、第三冲洗室5、电镀室6、第四冲洗室7、第五冲洗室8、吹风室9和红外干燥室10；所述传动机构1包括入料传送开口11和出料传送开口12，所述入料传送开口11和出料传送开口12底部均固定设置有第一电机13和传动装置14，所述传动装置14上部固定设置有支撑板15，所述传动装置14与支撑板15中部水平设置的传动辊16联动；所述第一冲洗室2和第三冲洗室5均包括去离水箱17，第二冲洗室4、第四冲洗室7和第五冲洗室8均包括市水箱18，所述去离水箱17和市水箱18顶部均固定设置有第一固定架19，所述第一固定架19顶部中间位置两端均开设有螺纹滑槽20，所述螺纹滑槽20之间设置有相匹配的螺纹杆21，所述螺纹杆21顶部固定连接有第二电机22的输出轴；所述蚀刻室3包括药液箱27，所述药液箱27上方固定设置有第二固定架28，所述第二固定架28顶部固定设置有滑槽板29，所述滑槽板29中间位置固定设置有限位板291，所述滑槽板29内两端均固定设置有第一气泵30，所述第一气泵30输出端固定连接有第一伸缩杆31，所述第一伸缩杆31固定连接有滑块32；所述电镀室6包括槽体38，所述槽体38上方固定设置有阳极板39，所述阳极板39与槽体38之间固定设置有内密封环40，所述阳极板39顶部固定设置有电镀水槽41，所述电镀水槽41一侧固定设置有外密封环42；所述吹风室9包括第三固定架43，所述第三固定架43顶部和底部均固定设置有风刀底座44，所述风刀底座44之间固定设置有风刀口45，所述风刀口45顶部两侧分别固定设置有第一挡风板46和第二挡风板47；所述红外干燥室10包括第四固定架50，所述第四固定架50两侧表面贯穿设置有若干穿孔51，所述第四固定架50一侧固定设置有限位弹簧52，所述限位弹簧52上固定安装有弹性钮53，所述弹性钮53之间固定连接有加热灯管54，所述第四固定架50顶部固定设置有吊轨55，所述吊轨55底部滑动设置有鼓风机通管56；所述第二电机22顶部设置有防尘盖23，所述防尘盖23底部两端固定连接有贯穿螺纹滑槽20的吊杆24，所述吊杆24底部固定设置有第一喷嘴固定座25，所述第一喷嘴固定座25侧面固定设置有第一喷嘴26；所述滑块32底部贯穿滑槽板29固定连接有第二气泵33，所述第二气泵33底部输出端连接第二伸缩杆34，所述第二伸缩杆34底部一侧固定设置有毛刷35，所述毛刷35一侧设置有第二喷嘴固定座36，所述第二喷嘴固定座36底部侧面设置有第二喷嘴37，所述第二喷嘴37与药液箱27之间的管路螺旋式回转连接；所述第一固定架19、第二固定架28、第三固定架43、第四固定架50和电镀水槽41之间均固定通过连接杆61相连接，所述第一喷嘴26与第二喷嘴37设置于同一水平线，所述第一固定架19、第二固定架28、第三固定架43、第四固定架50和电镀水槽41的底面均固定设置于支撑板15的顶部。

百度查询： 南京尚科得科技发展有限公司 枚叶水平输送式的晶圆电镀装置