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申请/专利权人：博鲁可斯自动化美国有限责任公司
摘要：一种用于基板处理装置的自动示教系统，所述自动示教系统包括：框架，所述框架具有带有预定装载台参考位置的工件装载台；机器人运送装置，所述机器人运送装置安装到所述框架，并且具有带有末端执行器的可移动运送臂以及驱动部分，所述末端执行器具有预定末端执行器参考位置，所述驱动部分在相对于所述框架的至少一个自由度运动中驱动所述可移动运送臂；机器视觉系统，所述机器视觉系统包括至少一个固定成像传感器和至少一个可移动成像传感器两者，其可拆卸地连接到所述框架并且被配置成对所述机器视觉系统的至少一个目标进行成像；装载夹具，所述装载夹具被设置用于与所述工件装载台可拆卸地接合，其中，所述至少一个固定成像传感器和所述至少一个可移动成像传感器两者安装到所述装载夹具，所述固定成像传感器。
主权项：1.一种用于基板处理装置的自动示教系统，所述自动示教系统包括：框架，所述框架具有工件装载台，所述工件装载台具有预定装载台参考位置；机器人运送装置，所述机器人运送装置安装到所述框架并且具有：具有末端执行器的可移动运送臂，所述末端执行器具有预定末端执行器参考位置，以及驱动部分，所述驱动部分在相对于所述框架的至少一个自由度运动中驱动所述可移动运送臂；机器视觉系统，所述机器视觉系统包括至少一个固定成像传感器和至少一个可移动成像传感器，其可拆卸地连接到所述框架并且被配置成对所述机器视觉系统的至少一个目标进行成像；装载夹具，所述装载夹具被设置用于与所述工件装载台可拆卸地接合，其中所述至少一个固定成像传感器和所述至少一个可移动成像传感器两者被安装到所述装载夹具，所述固定成像传感器相对于所述预定装载台参考位置具有预定姿态，其中，所述可移动运送臂具有所述至少一个目标中的至少一个臂目标，所述至少一个臂目标相对于所述预定末端执行器参考位置处于预定位置并且在所述装载夹具与所述工件装载台接合的情况下在所述固定成像传感器的视野中；以及所述可移动成像传感器具有在所述可移动成像传感器的基座上的对齐特征，所述对齐特征相对于所述预定末端执行器参考位置将所述可移动成像传感器对齐在预定位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 用于机器人系统的自动示教装置及其方法
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