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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明公开了一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统，包括通过定位孔依次同轴安装的加速栅结构、栅间绝缘结构和屏栅结构。本发明采用紧凑的结构设计，简化了结构，减少了零件数量，降低了加工和装配的成本和难度；碗状加速栅在保证栅间距不变的情况下，提高了栅间绝缘件的厚度，增强了栅极系统的绝缘性能；栅间绝缘件的阶梯型耐溅射沟槽，有效增加了爬电距离，增强了绝缘性能，同时能够捕获溅射污染物，不易造成栅极短路，增强了绝缘性能，提高了栅极系统的使用寿命；加速栅排气孔降低了由于栅间气体积累导致的栅间击穿短路的风险。
主权项：1.一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统，其特征在于，包括通过定位孔依次同轴安装的加速栅结构、栅间绝缘结构和屏栅结构，其中，所述加速栅结构上设置接线孔与电源相连，所述屏栅结构上设置接线孔与高压电源相连，所述栅间绝缘结构用于将所述加速栅结构和所述屏栅结构绝缘隔开；所述加速栅结构包括环状加速栅电极（1）和加速栅（2），其中，所述加速栅电极（1）的环状表面设置加速栅电极定位孔（101），在环状边缘的凸耳上设置加速栅电极接线孔（102）；所述加速栅（2）为凹式碗状结构，包括与所述加速栅电极（1）外径相同的环状部分，以及从所述环状部分向下凹陷的加速栅下凹结构（203），在环状部分的上表面设置与所述加速栅电极定位孔（101）同轴的加速栅定位孔（201），在环状部分的内缘呈圆周阵列设置加速栅极排气孔（202），在所述加速栅（2）的底部设置加速栅孔（204）；所述栅间绝缘结构即栅间绝缘件（4），所述栅间绝缘件（4）为环状，在环状表面设置与加速栅电极定位孔（101）同轴的栅间绝缘件定位孔（401），在环状内壁上设置栅间绝缘件沟槽（402），使所述栅间绝缘件（4）内部形成阶梯型结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统
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