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申请/专利权人:北京航空航天大学
摘要:本发明公开了一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统,包括通过定位孔依次同轴安装的加速栅结构、栅间绝缘结构和屏栅结构。本发明采用紧凑的结构设计,简化了结构,减少了零件数量,降低了加工和装配的成本和难度;碗状加速栅在保证栅间距不变的情况下,提高了栅间绝缘件的厚度,增强了栅极系统的绝缘性能;栅间绝缘件的阶梯型耐溅射沟槽,有效增加了爬电距离,增强了绝缘性能,同时能够捕获溅射污染物,不易造成栅极短路,增强了绝缘性能,提高了栅极系统的使用寿命;加速栅排气孔降低了由于栅间气体积累导致的栅间击穿短路的风险。
主权项:1.一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统,其特征在于,包括通过定位孔依次同轴安装的加速栅结构、栅间绝缘结构和屏栅结构,其中,所述加速栅结构上设置接线孔与电源相连,所述屏栅结构上设置接线孔与高压电源相连,所述栅间绝缘结构用于将所述加速栅结构和所述屏栅结构绝缘隔开;所述加速栅结构包括环状加速栅电极(1)和加速栅(2),其中,所述加速栅电极(1)的环状表面设置加速栅电极定位孔(101),在环状边缘的凸耳上设置加速栅电极接线孔(102);所述加速栅(2)为凹式碗状结构,包括与所述加速栅电极(1)外径相同的环状部分,以及从所述环状部分向下凹陷的加速栅下凹结构(203),在环状部分的上表面设置与所述加速栅电极定位孔(101)同轴的加速栅定位孔(201),在环状部分的内缘呈圆周阵列设置加速栅极排气孔(202),在所述加速栅(2)的底部设置加速栅孔(204);所述栅间绝缘结构即栅间绝缘件(4),所述栅间绝缘件(4)为环状,在环状表面设置与加速栅电极定位孔(101)同轴的栅间绝缘件定位孔(401),在环状内壁上设置栅间绝缘件沟槽(402),使所述栅间绝缘件(4)内部形成阶梯型结构。
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