买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：大连保税区金宝至电子有限公司

摘要：本发明属于金属导流板蚀刻监管技术领域，具体是一种改善金属导流板内图案尺寸均匀度的蚀刻方法，包括金属导流板表面扫描分析、金属导流板蚀刻、蚀刻液输入表现分析和蚀刻室环境分析；本发明通过金属导流板蚀刻前端分析模块对等待进行蚀刻的金属导流板进行表面扫描，基于表面扫描信息判断金属导流板质量状况，蚀刻液输检模块对蚀刻液输入表现状况进行分析，蚀刻室监测模块对蚀刻室内的环境状况进行分析，在生成前端分析不合格信号、蚀刻液输检不合格信号或蚀刻室环检异常信号时使蚀刻管理端发出相应预警，以及时提醒管理人员作出相应措施调整，从而保证金属导流板蚀刻效果并改善金属导流板内图案尺寸均匀度，智能化和自动化程度高。

主权项：1.一种改善金属导流板内图案尺寸均匀度的蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、通过金属导流板蚀刻前端分析模块对等待进行蚀刻的金属导流板进行表面扫描，基于表面扫描信息判断金属导流板质量状况并生成前端分析合格信号或前端分析不合格信号，且将前端分析不合格信号经服务器发送至蚀刻管理端，所述金属导流板蚀刻前端分析模块的具体分析过程是：在金属导流板表面划设若干个检测区域，采集到对应检测区域的表面粗糙度，将表面粗糙度与预设表面粗糙度阈值进行数值比较，若表面粗糙度超过预设表面粗糙度阈值，则将对应检测区域标记为粗糙区域；获取到金属导流板表面上粗糙区域的数量并将其标记为粗糙区表值，将所有检测区域的表面粗糙度进行均值计算以得到粗糙检测值，通过将粗糙区表值和粗糙检测值进行数值计算得到金属导流板面析值，将金属导流板面析值与预设金属导流板面析阈值进行数值比较，若金属导流板面析值超过预设金属导流板面析阈值，则生成前端分析不合格信号；步骤二、在生成前端分析合格信号时将金属导流板置入蚀刻室内，且向蚀刻室内输入蚀刻液以对金属导流板进行蚀刻操作；步骤三、通过蚀刻液输检模块对蚀刻液输入表现状况进行分析，通过分析生成蚀刻液输检合格信号或蚀刻液输检不合格信号，且将蚀刻液输检不合格信号经所述服务器发送至所述蚀刻管理端，所述蚀刻液输检模块的具体运行过程包括：采集到向蚀刻室内输入蚀刻液的速度并将其标记为蚀刻液输速值，将蚀刻液输速值与预设蚀刻液输速标准值的偏离值标记为蚀刻液速偏值，将检测时段内若干个检测时点的蚀刻液速偏值进行均值计算以得到蚀刻液输检值，且将蚀刻液速偏值超过预设蚀刻液速偏阈值的检测时点的数量占比值标记为蚀刻液输异值，通过将蚀刻液输检值和蚀刻液输异值进行数值计算以得到蚀刻液输况值，将蚀刻液输况值与预设蚀刻液输况阈值进行数值比较，若蚀刻液输况值超过预设蚀刻液输况阈值，则生成蚀刻液输检不合格信号；步骤四、通过蚀刻室监测模块对蚀刻室内的环境状况进行分析，通过分析生成蚀刻室环检异常信号或蚀刻室环检正常信号，且将蚀刻室环检异常信号经所述服务器发送至所述蚀刻管理端，所述蚀刻室监测模块的具体运行过程包括：实时采集到蚀刻室内的气压值，以及实时采集到蚀刻室内的液体搅动速度值，将检测时段内气压值未处于预设适宜气压值范围的总时长标记为气压异时值，将液体搅动速度未处于预设液体搅动速度范围的总时长标记为搅动异时值；将气压异时值和搅动异时值与预设气压异时阈值和预设搅动异时阈值分别进行数值比较，若气压异时值或搅动异时值超过对应预设阈值，则生成蚀刻室环检异常信号；步骤五、所述蚀刻管理端接收到前端分析不合格信号、蚀刻液输检不合格信号或蚀刻室环检异常信号时发出相应预警，其中，所述服务器与蚀刻监控评估模块通信连接，所述蚀刻监控评估模块在金属导流板上设定若干个蚀刻监控区域，在金属导流板的蚀刻过程中，实时采集到各个蚀刻监控区域的蚀刻速率，将所有蚀刻监控区域的蚀刻速率进行方差计算以得到蚀刻速况值，若蚀刻速况值超过预设蚀刻速况阈值，则生成蚀刻异常信号；将蚀刻异常信号经所述服务器发送至所述蚀刻管理端，所述蚀刻管理端接收到蚀刻异常信号时发出相应预警。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连保税区金宝至电子有限公司 一种改善金属导流板内图案尺寸均匀度的蚀刻方法