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申请/专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
摘要：本实用新型涉及干燥装置技术领域，公开了一种风刀吹干装置。该风刀吹干装置包括主风刀和辅助风刀，主风刀呈中空结构，主风刀上设有与其内部连通的第一进气口，主风刀的一端还设有与其内部连通的第一出气口，第一出气口朝向基板的表面设置；辅助风刀与主风刀沿第一方向间隔设置，第一方向为基板的输送方向，辅助风刀呈中空结构，辅助风刀上设有与其内部连通的第二进气口，辅助风刀的一端还设有与其内部连通的第二出气口，第二出气口朝向基板的表面设置。通过设置辅助风刀，能够解决基板上由于局部干燥不良而产生的水分残留问题，从而保证了基板的良品率。
主权项：1.风刀吹干装置，其特征在于，包括：主风刀10，所述主风刀10呈中空结构，所述主风刀10上设有与其内部连通的第一进气口11，所述第一进气口11用于与外部气源连通，所述主风刀10的一端还设有与其内部连通的第一出气口12，所述第一出气口12朝向基板30的表面设置；辅助风刀20，与所述主风刀10沿第一方向间隔设置，所述第一方向为所述基板30的输送方向，所述辅助风刀20呈中空结构，所述辅助风刀20上设有与其内部连通的第二进气口21，所述第二进气口21用于与外部气源连通，所述辅助风刀20的一端还设有与其内部连通的第二出气口22，所述第二出气口22朝向所述基板30的表面设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州晶洲装备科技有限公司 风刀吹干装置
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