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申请/专利权人：合肥新汇成微电子股份有限公司
摘要：本发明公开了电镀机挂架内外盖吹干装置，涉及驱动芯片金凸块封装技术领域，包括安装底座，安装底座的顶部设置有吹干箱，吹干箱的内部设置有内盖吹干机构和外盖吹干机构，且内盖吹干机构和外盖吹干机构上下垂直分布，通过设置的内盖吹干机构和外盖吹干机构带动内外盖匀速旋转的同时，吹出氮气对放置的内盖和外盖进行吹干，使电镀时内盖和外盖上无水残留，提高产品良率。
主权项：1.电镀机挂架内外盖吹干装置，其特征在于，包括安装底座1，安装底座1的顶部设置有吹干箱2，吹干箱2的内部设置有内盖吹干机构3和外盖吹干机构4，且内盖吹干机构3和外盖吹干机构4上下垂直分布；其中内盖吹干机构3包括安装在吹干箱2上的第一驱动组件31和多组第一辅助组件32，多组第一辅助组件32配合第一驱动组件31卡接有多个内盖100，吹干箱2上设置有第一吹气系统33，第一吹气系统33包括吹气组件一331和吹气组件二332，吹气组件一331和吹气组件二332均围绕内盖100设置，第一辅助组件32与第一吹气系统33配合套设有多个第一分离板34，内盖100下方设置有第一集水盒35；通过多个第一分离板34分隔相邻两个内盖100，避免水汽相互影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥新汇成微电子股份有限公司 电镀机挂架内外盖吹干装置
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