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申请/专利权人：国电投核力创芯(无锡)科技有限公司;国核铀业发展有限责任公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆质子辐照用晶圆搬运小车包括：小车骨架，由材质为60661铝合金制成的呈中空结构的矩形管连接组成；小车料舱，设置在所述小车骨架上；径向限位块，设置在小车骨架的径向上，与所述小车料舱抵接，用于限位及固定小车料仓。本实用新型通过由材质为60661铝合金制成的呈中空结构的矩形管连接组成的小车骨架取代传统的Q235钢板进行焊接加工而成的小车骨架，进行减少搬运小车的重量，将重量控制在屏蔽门及环氧自流平可承受的范围内，避免损坏屏蔽门及环氧自流平；同时设计径向限位块，对小车料舱进行径向限位及固定，取代传统侧面限位及固定时，增加搬运小车的宽度。
主权项：1.一种晶圆质子辐照用晶圆搬运小车，其特征在于，包括：小车骨架（6），由材质为60661铝合金制成的呈中空结构的矩形管连接组成；小车料舱（4），设置在所述小车骨架（6）上；径向限位块（3），设置在小车骨架（6）的径向上，与所述小车料舱（4）抵接，用于限位及固定小车料舱（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 国核铀业发展有限责任公司 一种晶圆质子辐照用晶圆搬运小车
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