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申请/专利权人：国科大杭州高等研究院
摘要：本发明的一种193nm波段紫外连续激光产生系统，包括依次连接的近红外激光驱动单元、可见激光产生系统和紫外激光产生系统。近红外激光产生系统通过光纤激光放大器产生波长在1000‑1120范围内的高功率近红外激光。利用其倍频后产生的可见激光泵浦金刚石晶体，并以产生的金刚石拉曼激光作为后续频率转换的基频光，在最后的紫外激光产生系统中，通过一次倍频与一次和频过程最终实现193nm波段激光的输出。本发明结合光纤激光与金刚石拉曼技术，可有效提高现有技术中193nm波段紫外激光的输出功率和稳定性。
主权项：1.一种193nm波段紫外连续激光产生系统，其特征在于：包括依次连接的近红外激光驱动单元、可见激光产生系统与紫外激光产生系统；所述近红外激光驱动单元产生波长为λ1的近红外激光，λ1为1000-1120nm范围内的任意波长；所述可见激光产生系统通过倍频过程，产生波长为λ2的可见激光来泵浦金刚石晶体，利用金刚石晶体的受激拉曼散射效应转换激光频率产生波长为λ3的激光，λ3＝λ2+Δλ,其中，Δλ为金刚石受激拉曼散射过程的频移量；随后，波长为λ3的激光进入紫外激光产生系统，通过单通倍频或级联单通倍频产生波长为λ4的紫外激光，最后通过和频的方式将波长为λ3和λ4的两束激光和频产生波长为λ5的193nm波段紫外连续激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国科大杭州高等研究院 一种193nm波段紫外连续激光产生系统
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