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申请/专利权人:住友重机械工业株式会社
摘要:本发明提供一种激光功率测量装置,其能够抑制能量损失并且能够实现省空间化。具有供激光束入射的受光面的第1传感器测定入射到受光面上的激光束的平均功率。配置在来自第1传感器的受光面的散射光所入射的位置上的第2传感器测定所入射的激光束的峰值功率。
主权项:1.一种激光功率测量装置,其特征在于,具有:第1传感器,其具有供激光束入射的受光面,且其测定入射到受光面的激光束的平均功率;及第2传感器,其配置在来自所述第1传感器的受光面的散射光所入射的位置上,且其测定所入射的激光束的峰值功率。
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权利要求:
百度查询: 住友重机械工业株式会社 激光功率测量装置
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