龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽华矽半导体科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种改进型静电吸盘，包括有主基座，所述主基座的顶部设置有陶瓷盘，所述陶瓷盘上开设有至少一组的针孔，还包括固定框，固定连接设置在陶瓷盘的底部，所述固定框内部空心形成限位腔，所述固定框的顶部开设有顶槽；定位板，滑动连接设置在顶槽内。本发明通过设置的支撑杆，顶块向上移动会向两侧推动支撑杆移动，使第一弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制顶块在水平方向的震动，顶块向上移动会使第二弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制了顶块在垂直方向的震动，从而能够使顶块平稳移动，有效保证了定位板的平稳移动，进而保证了探针的平稳移动。
主权项：1.一种改进型静电吸盘，包括有主基座1，所述主基座1的顶部设置有陶瓷盘4，所述陶瓷盘4上开设有至少一组的针孔401，其特征在于，还包括：固定框5，固定连接设置在陶瓷盘4的底部，所述固定框5内部空心形成限位腔，所述固定框5的顶部开设有顶槽503；定位板10，滑动连接设置在顶槽503内，所述定位板10的顶部固定连接设置有与针孔401相对应的探针13，所述探针13通过所述针孔401穿设陶瓷盘4并向外漏出，所述定位板10的底部固定连接设置有定位杆11，所述定位杆11向下穿设固定框5的顶部并在限位腔的顶部漏出；用于顶起定位杆11的顶块6，呈圆台状，滑动连接设置在限位腔内，顶块6的底部设置有用于驱动顶块6移动的驱动组件；所述主基座1内腔的两侧对称开设有限位孔102，所述限位孔102内滑动连接设置有支撑杆7，所述支撑杆7的一端位于第一通孔501内，另一端穿设固定框5并与顶块6外表面的斜面贴合；第一弹性件701，固定连接设置在支撑杆7位于第一通孔501内的一端；第二弹性件12，固定连接设置在陶瓷盘4的底部，所述第二弹性件12的底部与顶块6的顶部搭接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽华矽半导体科技有限公司 宣城先进光伏技术有限公司 一种改进型静电吸盘
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号