买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:福州市福大微纳显示科技有限公司
摘要:本发明公开了一种集成Micro‑LED发光芯片的AFM探针及其制备方法,其中,AFM探针包括:基座,基座的一侧延展出有微悬臂梁,微悬臂梁远离基座的末端下侧刻蚀有针尖,微悬臂梁在针尖的相对侧表面设置有Micro‑LED发光芯片,Micro‑LED发光芯片用于朝四象限探测器发送光信号,以使四象限探测器将光信号转化为电信号进而检测待测物体的形貌。本发明对应的结构可以有效提高AFM探针的稳定性和灵敏度。
主权项:1.一种集成Micro-LED发光芯片的AFM探针,其特征在于,所述AFM探针包括:基座,所述基座的一侧延展出有微悬臂梁,所述微悬臂梁远离所述基座的末端下侧刻蚀有针尖,所述微悬臂梁在所述针尖的相对侧表面设置有Micro-LED发光芯片,所述Micro-LED发光芯片用于朝四象限探测器发送光信号,以使所述四象限探测器将所述光信号转化为电信号进而检测待测物体的形貌。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 福州市福大微纳显示科技有限公司 一种集成Micro-LED发光芯片的AFM探针及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。