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申请/专利权人：四川上特科技有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆揭膜装置，包括转盘，沿其外周的一面依次间隔设置的上料机构、揭膜机构、取料机构，沿转盘外周的另一面依次设有三个移动部，上料机构、揭膜机构、取料机构依次对应设于一个移动部上；转盘绕自身轴线转动设置其上设有定位部，定位部包括多个限位组件；揭膜机构用于揭膜，上料机构用于向定位部放置待揭膜的晶圆，取料机构用于将揭膜后的晶圆取下；移动部包括基座，其上设有气缸，气缸的输出端设有L型的移动板，用于推动限位组件，以解除晶圆的限位。使用本申请提供的方案先降低保护膜的粘性，再搓动保护膜，并将搓起的保护膜卷起，以确保保护膜被完全揭下，避免人工二次操作，效率高。
主权项：1.一种晶圆揭膜装置，其特征在于，包括转盘（100），沿其外周的顶面依次间隔设置的上料机构（200）、揭膜机构（300）、取料机构（400），沿转盘（100）外周的底面依次设有三个移动部（500），上料机构（200）、揭膜机构（300）、取料机构（400）依次对应设于一个移动部（500）上；转盘（100）绕自身轴线转动设置，转盘（100）上沿圆周阵列设有多个定位部，其包括三个限位组件（110），用于放置晶圆（1），三个限位组件（110）呈U型结构布置，且U型开口沿转盘（100）的法线方向朝外设置；揭膜机构（300）包括加热辊（310），加热辊（310）远离转盘（100）中心的一侧间隔有橡胶辊（320），用于揭膜，橡胶辊（320）远离加热辊（310）的一侧设有连接于移动部（500）的集料组件（330），用于收集揭下的保护膜，橡胶辊（320）的一端设有驱动组件（340），用于驱动橡胶辊（320）沿其揭膜时的移动方向反向转动；上料机构（200）和取料机构（400）结构相同，均包括设于移动部（500）上的连杆（210），其一端伸缩设有吸盘（220），连杆（210）的一侧设有输送带（230），其输送方向与转盘（100）相切，上料机构（200）用于将对应输送带（230）上的晶圆（1）转移至定位部，取料机构（400）用于将揭膜后的晶圆（1）转移至对应的输送带（230）上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川上特科技有限公司 一种晶圆揭膜装置
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