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用于运送至少一个晶片的运送装置 

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申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司

摘要:本发明涉及一种用于运送至少一个晶片(36)的运送装置(10),其具有至少一个输送本体(200),其中所述输送本体(200)至少设置用于承载或保持晶片(36),并且其中所述运送装置(10)设置用于在运送面(35)上至少二维地使得所述至少一个输送本体(200)运动。

主权项:1.一种用于运送至少一个晶片36的运送装置10,具有至少一个输送本体200,其中,所述输送本体200至少设置用于承载或保持至少一个晶片36,并且其中,所述运送装置10设置用于在运送面35上至少二维地使得所述至少一个输送本体200运动,其中,所述运送装置10设置用于以受控制的方式漂浮地运送所述至少一个输送本体200,-其中,所述运送装置10具有定子100,其中,所述运送装置10设置用于相对于所述定子100以受控制的方式运送所述至少一个输送本体200,其中,所述定子具有多个能够运动地布置的调节磁体26,所述调节磁体中的每个调节磁体通过调节元件114与所述定子100相连接,其中,所述调节元件114设置用于以受控制的方式改变与其相连接的调节磁体26相对于所述定子100的位置和或取向,所述至少一个输送本体200具有至少两个固定磁体22,所述固定磁体与所述输送本体200如此连接,使得所述至少两个固定磁体22不能够相对于所述输送本体200运动,所述定子100和所述至少一个输送本体200借助于所述至少两个固定磁体22和所述多个调节磁体26磁性地耦接,所述运送装置10设置用于,通过借助于所述调节元件114使得所述多个调节磁体26相对于所述定子100受控制地定位和或取向来运送所述至少一个输送本体200;或者-其中,所述运送装置10具有定子100,其中,所述运送装置10设置用于相对于所述定子100以受控制的方式运送所述至少一个输送本体200,其中,所述至少一个输送本体200具有多个能够运动地布置的调节磁体26,所述调节磁体中的每个调节磁体通过调节元件114与所述输送本体200相连接,其中,所述调节元件114设置用于以受控制的方式改变与其相连接的调节磁体26相对于所述输送本体200的位置和或取向,所述定子100具有至少两个固定磁体22,所述固定磁体与所述定子100如此连接,使得所述至少两个固定磁体22不能够相对于所述定子100运动,所述至少一个输送本体200和所述定子100借助于所述至少两个固定磁体22和所述多个调节磁体26磁性地耦接,所述运送装置10设置用于,通过借助于所述调节元件114使得所述多个调节磁体26相对于所述定子100受控制地定位和或取向来运送所述至少一个输送本体200。

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