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申请/专利权人:安徽格恩半导体有限公司
摘要:公开了一种半导体激光器,包括衬底、下限制层、下波导层,有源层、上波导层和上限制层,所述上限制层和下限制层构成空穴与电子平衡结构,所述空穴与电子平衡结构包括AlInGaN、AlGaN、InGaN、AlN、AlInN、InGaN、GaN,所述上限制层和下限制层均具有特定设计的Mg、Si掺杂浓度分布、Al、In、C、H和O元素分布以及变化角度,所述上限制层的Al元素分布呈函数y=exsinx曲线分布,Mg掺杂浓度分布呈函数y=ex‑x曲线分布,H元素分布呈函数y=ax‑1ax+1曲线分布,O元素分布呈y=sinxx2曲线分布,C元素分布呈y=excosx的第三象限曲线分布,从而使本发明的半导体紫外激光器降低Mg激活能并提升Mg离化效率,提升空穴注入有源层的效率和电子注入有源层的效率,提升紫外激光器的斜率效率和激光效率。
主权项:1.一种半导体激光器,其特征在于,包括衬底、下限制层、下波导层,有源层、上波导层、上限制层,所述上限制层和所述下限制层构成空穴与电子平衡结构,所述空穴与电子平衡结构包括AlInGaN、AlGaN、InGaN、AlN、AlInN、InGaN、GaN的任意一种或任意组合。
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权利要求:
百度查询: 安徽格恩半导体有限公司 一种半导体激光器
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