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申请/专利权人：哈尔滨工程大学
摘要：具有空腔结构的微圆环谐振器，属于微机电系统领域。解决了现有的微圆环式谐振器由热弹性阻尼带来的限制谐振系统品质因子Q值变大问题。本发明包括位于基座上的圆环谐振子、支撑结构、驱动电极和锚点桩，且圆环谐振子的外表面镀有金属导电层；圆环谐振子的内表面通过支撑结构与锚点桩固定连接，且三者共轴；沿圆环谐振子的环向延伸方向设有空腔，且该空腔位于圆环谐振子的环状本体内；多个驱动电极呈环形等间隔的均布在圆环谐振子的外侧，驱动电极用于驱动圆环谐振子工作在固有频率处。本发明主要与微机电系统中的惯性传感器配套使用。
主权项：1.具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，包括位于基座（6）上的圆环谐振子（2）、支撑结构（3）、驱动电极（4）和锚点桩（5），且圆环谐振子（2）的外表面镀有金属导电层（1）；圆环谐振子（2）的内表面通过支撑结构（3）与锚点桩（5）固定连接，且三者共轴；沿圆环谐振子（2）的环向延伸方向设有空腔（7），且该空腔（7）位于圆环谐振子（2）的环状本体内；空腔（7）的数量至少为1个；当空腔（7）的数量为多个时，多个空腔（7）沿圆环谐振子（2）的中心环的厚度方向均匀分布；多个驱动电极（4）呈环形等间隔的均布在圆环谐振子（2）的外侧，驱动电极（4）用于驱动圆环谐振子（2）工作在固有频率处；支撑结构（3）包括多个支撑片（3-1），且支撑片（3-1）为弧形的条状片；多个支撑片（3-1）设置在圆环谐振子（2）与锚点桩（5）之间，且沿周向方向上等间隔的绕锚点桩（5）均匀布设，且每个支撑片（3-1）的一个端面固定在锚点桩（5）上，该支撑片（3-1）的另一个端面固定在圆环谐振子（2）的内表面；多个支撑片（3-1）的弧顶方向相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工程大学 具有空腔结构的微圆环谐振器
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