龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：富士胶片电子材料美国有限公司
摘要：本发明提供了用于处理表面的方法及用于所述方法的组合物，其中表面处理层形成于所述表面上，从而在所述表面经受半导体制造过程中的典型清洁步骤时使图案塌缩最小化或防止图案塌缩。
主权项：1.一种用于处理半导体基材的方法，所述半导体基材具有设置在所述基材的表面上的图案，所述方法包括：使所述表面与表面处理组合物接触，其中所述表面处理组合物包含至少一种非质子溶剂与至少一种表面处理剂，所述至少一种非质子溶剂包含硅氧烷，所述至少一种表面处理剂包含含Si化合物，且所述表面处理组合物在所述表面上形成表面处理层，以使所述表面具有至少50度的水接触角；其中，所述图案包含具有至多20nm尺寸的形貌；以及其中，所述至少一种表面处理剂为所述表面处理组合物的1wt%至3wt%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片电子材料美国有限公司 表面处理方法及用于所述方法的组合物
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号