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目标晶粒确定方法、装置、电子设备及介质 

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申请/专利权人:深圳佰维存储科技股份有限公司

摘要:本发明提供一种目标晶粒确定方法、装置、电子设备及介质,涉及半导体技术领域,该方法包括:获取待测晶圆集;依次对各晶圆的多个晶粒进行合格性测试,并根据各晶粒的测试结果生成各晶圆对应的初始二维数组;根据N个初始二维数组,确定融合二维数组;遍历融合二维数组,从多个融合元素中确定符合预设筛选条件的第一目标元素;将第一目标元素对应的多个初始元素确定为目标初始元素,将各目标初始元素对应的晶粒确定为目标晶粒。本发明提升了目标晶粒的识别效率及识别准确度。

主权项:1.一种目标晶粒确定方法,其特征在于,所述方法包括:获取待测晶圆集,所述待测晶圆集包括N个晶圆,各所述晶圆分别包括多个晶粒;依次对各所述晶圆的多个所述晶粒进行合格性测试,并根据各所述晶粒的测试结果生成各所述晶圆对应的初始二维数组,所述初始二维数组包括多个初始元素,各所述初始元素分别代表与其行列数相同的晶粒的测试结果;根据N个所述初始二维数组,确定融合二维数组,所述融合二维数组中包括多个融合元素,各所述融合元素分别代表与其行列数相同的多个所述初始元素的数值之和;遍历所述融合二维数组,从多个所述融合元素中确定符合预设筛选条件的第一目标元素;将所述第一目标元素对应的多个所述初始元素确定为目标初始元素,将各所述目标初始元素对应的所述晶粒确定为目标晶粒。

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权利要求:

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