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一种高低温探针台的探针组件 

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申请/专利权人:致真精密仪器(杭州)有限公司

摘要:本发明提供了一种高低温探针台的探针组件,包括探针座、探针臂、转接件、探针,探针臂连接于探针座,探针通过转接件连接于探针臂,转接件包括连接块、弹片,连接块设置有两个,连接块被构造成包括外接部、组合部,两个连接块的组合部相互正对,弹片连接于两个连接块的组合部,弹片沿探针臂长度的方向上对称设置;连接块的其中之一的外接部与探针臂连接,连接块的其中另一的外接部与探针连接;通过在探针与探针臂之间增加转接件,吸收或者补偿探针臂因热胀冷缩带来的形变,使得探针针尖与待测位置相对固定,同时提供垂直方向上的力,能够使探针与被测物保持接触以避免检测失败。

主权项:1.一种高低温探针台的探针组件,其特征在于:包括探针座、探针臂、转接件、探针,所述探针臂连接于所述探针座,所述探针通过所述转接件连接于所述探针臂,所述转接件包括连接块、弹片,所述连接块设置有两个,所述连接块被构造成包括外接部、组合部,两个所述连接块的所述组合部相互正对,所述弹片连接于两个所述连接块的所述组合部,所述弹片沿所述探针臂长度的方向上对称设置;所述连接块的其中之一的所述外接部与所述探针臂连接,所述连接块的其中另一的所述外接部与所述探针连接。

全文数据:

权利要求:

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