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芯片测试用探针调节支架 

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申请/专利权人:苏州联讯仪器股份有限公司

摘要:本发明公开一种芯片测试用探针调节支架,其悬板中部上方安装有一铰接轴,垂直于悬板长度方向设置的铰接轴包括主体部和位于主体部两端的凸缘部,铰接轴的主体部上方两侧设置有平行安装于本体上的第一销轴、第二销轴,探针座一端的上表面开有一通孔,倾斜设置的通孔的上端位于通孔的下端与探针座另一端之间,一簧片的连接部与探针座另一端的上表面固定连接,延伸至通孔上方的簧片的主体部上开设有一位于其连接部与通孔之间的安装通孔,第一轴承、第三轴承位于铰接轴的一个凸缘部与本体之间,第二轴承、第四轴承位于铰接轴的另一个凸缘部与本体之间。本发明保证了探针与芯片之间作用力的稳定性与一致性,提高了测试数据的稳定性、一致性和可比较性。

主权项:1.一种芯片测试用探针调节支架,包括:本体(1)、位于本体(1)下方的悬板(2)和安装于悬板(2)一端的探针座(3),所述探针座(3)上安装有用于与待测试芯片电接触的探针(4),所述本体(1)与悬板(2)之间通过一竖直设置的弹性件(5)连接,其特征在于:所述悬板(2)中部上方安装有一铰接轴(7),垂直于悬板(2)长度方向设置的所述铰接轴(7)包括主体部(701)和位于主体部(701)两端的凸缘部(702),所述铰接轴(7)的主体部(701)上方两侧设置有平行安装于本体(1)上的第一销轴(8)、第二销轴(9),平行于铰接轴(7)设置的所述第一销轴(8)两端自本体(1)两侧表面向外伸出并安装有第一轴承(801)、第二轴承(802),所述第二销轴(9)的两端自本体(1)两侧表面向外伸出并安装有第三轴承(901)、第四轴承(902);所述第一轴承(801)、第三轴承(901)位于铰接轴(7)的一个凸缘部(702)与本体(1)之间,所述第二轴承(802)、第四轴承(902)位于铰接轴(7)的另一个凸缘部(702)与本体(1)之间,处于拉伸状态的所述弹性件(5)的下端与铰接轴(7)主体部(701)的中央区域连接,使得铰接轴(7)主体部(701)两端的外圆周面与第一轴承(801)、第二轴承(802)、第三轴承(901)、第四轴承(902)各自的动圈的圆周面挤压接触;所述探针座(3)远离悬板(2)一端的上表面开有一通孔(10),倾斜设置的所述通孔(10)的上端位于通孔(10)的下端与探针座(3)另一端之间,一簧片(11)的连接部(111)与探针座(3)另一端的上表面固定连接,延伸至通孔(10)上方的所述簧片(11)的主体条(112)上开设有一位于其连接部(111)与通孔(10)之间的安装通孔(6),当所述簧片(11)的主体条(112)向上折弯时,所述安装通孔(6)远离连接部(111)的一端与倾斜的通孔(10)共线且下端自通孔(10)内穿出的所述探针(4)的上端穿入安装通孔(6)内。

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权利要求:

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