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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所

摘要：本发明涉及离轴主次镜的装调，具体涉及一种大像差离轴主次镜装调方法，为解决现有技术中大像差离轴主次镜装调需要额外制作补偿器或CGH，导致增加一定的成本以及装调周期的不足之处。本发明大像差离轴主次镜装调方法通过设置第一计算全息光栅、第二计算全息光栅，分别形成第一干涉测量回路、第二干涉测量回路和第三干涉测量回路，依次装调主反射镜和次反射镜，固定其相对位置，操作简单，有效提高装调精度和效率。

主权项：1.一种大像差离轴主次镜装调方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，发射平行光束，控制平行光束经第一计算全息光栅衍射，其第一衍射级次的光束构建与主反射镜面形相匹配的位相波前，位相波前经离轴主次镜的主反射镜反射，反射后的光束原路返回，再次经第一计算全息光栅衍射，形成第一干涉测量回路；对第一干涉测量回路拟合计算得到其各像差分量，再结合像差灵敏度矩阵，将主反射镜和第一计算全息光栅对准，固定主反射镜和第一计算全息光栅的位置；步骤2，发射平行光束，控制平行光束经第一计算全息光栅衍射，其第二衍射级次的光束经过第二计算全息光栅反射，反射后的光束沿原路返回，再次经过第一计算全息光栅衍射，形成第二干涉测量回路；对第二干涉测量回路拟合计算得到其各像差分量，再结合像差灵敏度矩阵，调节第二计算全息光栅的位置，使其与第一计算全息光栅对准，固定第二计算全息光栅位置；所述第二计算全息光栅包括全息对准区与全息构形区；所述第二衍射级次的光束与第二计算全息光栅的全息对准区的位相分布相匹配，经过全息对准区反射后沿原路返回；所述第一衍射级次和第二衍射级次相同；步骤3，发射平行光束，控制平行光束经过第一计算全息光栅衍射，其第三衍射级次的光束经第二计算全息光栅的全息构形区反射，构建与次反射镜的面形相匹配的位相波前，位相波前经过次反射镜反射，反射后的光束沿原路返回，经第二计算全息光栅的全息构形区反射，再经过第一计算全息光栅衍射，形成第三干涉测量回路，对第三干涉测量回路拟合计算得到其各项像差分量，再结合像差灵敏度矩阵调节次反射镜的相对位置，使其与第一计算全息光栅、第二计算全息光栅对准，固定次反射镜的位置，完成装调；所述第三衍射级次与第一衍射级次互为相反数。

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