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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种金属线结构及具有其的电迁移测试装置，金属线结构包括待测金属线、第一引线、第一连接通道、第二引线、第二连接通道；待测金属线包括第一金属线以及从第一金属线的一端分出的至少三组分支金属线单元，每组分支金属线单元包括至少三个第一分支金属线；第一引线设置在与待测金属线不同的结构层中；第一连接通道用于连通第一引线和第一金属线；第二引线设置在与第一引线相同的结构层中，每组分支金属线单元分别电连接一个第二引线；第二连接通道用于连通第二引线和第一分支金属线。本发明提供的金属线结构及具有其的电迁移测试装置，通过从第一金属线的一端分出多组分支金属线单元，为待测金属线的阳极能够实现多端分流奠定了基础。通过在金属线的另一端电连接第一引线，为能够实现大电流输出奠定了基础。通过在每组分支金属线单元上分别电连接一个第二引线，使得金属线结构能够实现电流的多端输入，为能够实现不同量程的电流输出奠定了基础。
主权项：1.一种金属线结构，其特征在于，包括：待测金属线，所述待测金属线包括第一金属线以及从所述第一金属线的第一端分出的至少三组分支金属线单元，每组所述分支金属线单元包括至少三个第一分支金属线；第一引线，设置在与所述待测金属线不同的结构层中，所述第一引线的第一端用于输出电流，且所述第一引线的第二端具有与所述第一金属线空间交叠的第一交叠区；第一连接通道，设置在所述第一交叠区中，以连通所述第一引线和所述第一金属线；第二引线，设置在与所述第一引线相同的结构层中，且每组所述分支金属线单元分别电连接一个所述第二引线，所述第二引线的第一端用于输入电流，所述第二引线的第二端具有与所述第一分支金属线空间交叠的第二交叠区；第二连接通道，设置在所述第二交叠区中，以连通所述第二引线和所述第一分支金属线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 金属线结构及具有其的电迁移测试装置
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