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申请/专利权人：天津大学四川创新研究院;四川莱仪特天瓴科技有限公司

摘要：本发明是一种利用光泵浦太赫兹探测表征氮化镓载流子迁移率的方法，涉及太赫兹信号探测技术领域，包括以下步骤：选择合适尺寸和质量的氮化镓材料作为待测试样品；搭建光泵浦太赫兹探测系统；对待测试的样品进行探测，太赫兹探测装置探测到的信号传输至数据处理系统进行处理和分析，计算得到氮化镓材料中的载流子迁移率和光电导率；缺陷评估，根据得到的氮化镓材料载流子迁移率和光电导率，结合已知的氮化镓材料性能参数和缺陷对性能的影响规律，间接评估氮化镓材料中的缺陷情况。本发明可以高精度地获取载流子迁移率和光电导率的数据，更准确地反映材料内部的电学性质，进而更精确地评估氮化镓材料中的缺陷情况。

主权项：1.利用光泵浦太赫兹探测表征氮化镓载流子迁移率的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选择合适尺寸和质量的氮化镓材料作为待测试样品；S2、搭建光泵浦太赫兹探测系统；光泵浦太赫兹探测系统包括飞秒激光器（1）、分束器A（2）、分束器B（3）、泵浦部分（4）、样品台（5）、太赫兹产生装置（6）、太赫兹探测装置（7）、数据处理系统（8），样品放置在样品台上；S3、对待测试的样品进行探测；S31、飞秒激光器（1）产生超短脉冲激光，通过分束器A（2）分束为泵浦光和探测光；S32、泵浦光通过泵浦部分（4）控制光束路径、能量、时间延迟后照射到样品表面，用于激发样品中的载流子；S33、探测光通过分束器B（3）分束为两道探测光束，一道探测光束通过太赫兹产生装置（6）产生太赫兹波，产生的太赫兹波照射到已被泵浦光激发的样品上，样品的瞬态物理效应会导致太赫兹波的传输、反射或吸收特性发生变化；S34、太赫兹探测装置（7）接收并检测太赫兹波在样品中的透射信号，同时，另一道探测光束可作为参考光辅助太赫兹探测装置工作，用于调制太赫兹信号，将太赫兹信号转换为可检测的电流变化，提高太赫兹信号的检测效率和信噪比；S35、数据处理，太赫兹探测装置探测到的信号传输至数据处理系统进行处理和分析，计算得到氮化镓材料中的载流子迁移率和光电导率；S4、缺陷评估，根据得到的氮化镓材料载流子迁移率和光电导率，结合已知的氮化镓材料性能参数和缺陷对性能的影响规律，间接评估氮化镓材料中的缺陷情况。

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