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申请/专利权人：东曹株式会社;国立大学法人东京工业大学
摘要：本发明的氮化铝钪膜包含铝、钪和氮，而且包含镓。氮化铝钪膜的晶相可包含六方晶。氮化铝钪膜的晶相可为纤锌矿型结构。
主权项：1.一种氮化铝钪膜，其包含铝、钪和氮，而且包含镓。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东曹株式会社 国立大学法人东京工业大学 氮化铝钪膜及铁电体组件
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