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一种高纯金属钪及其靶材的制备方法 

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申请/专利权人:广西大学

摘要:本发明提供一种高纯金属钪及其靶材的制备方法。具体包括以下步骤:将99.999%的氟化钪置于高频感应炉内,低温段还原;还原得到的5N级钪置于中频感应炉内,高温段分离纯化,接着将得到的熔融态高纯稀土金属钪,置于真空悬浮熔炼炉的水冷铜坩埚中,进行更为充分的熔炼,浇铸到水冷模具中,得到相应纯度的高纯稀土金属钪铸锭;将金属钪铸锭通过高通量深过冷再轧制处理,得到相应纯度的高纯稀土金属钪溅射靶材。本发明方法解决了现有技术中高纯稀土金属钪的杂质去除效果欠佳、制备过程易污染;钪溅射靶材的致密度低、成型过程易氧化且加工困难等问题。

主权项:1.一种高纯稀土金属钪的制备方法,其特征在于,该方法包括以下流程步骤:a:将99.999%的氟化钪置于高频感应炉内,采用1500-1600℃低温段还原;b:还原得到的99.999%的钪置于中频感应炉内,采用1400-2600℃高温段分离纯化。

全文数据:

权利要求:

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