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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，属于靶材加工技术领域，其包括：底座，所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具；磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板和磨削轮；冷却机构，用于对靶材和磨削轮进行冷却，所述冷却机构包括压缩箱、喷淋筒、连接轴和旋转电机。本发明通过设置的磨削机构、冷却机构与红外测温仪的配合，可在磨削过程中实现对磨削区域的温度监测，并根据监测结果自动调整磨削进给速度和冷却强度，以避免过热导致靶材变形或磨具损坏，并通过设置的压力传感器监测磨具受到的阻力，根据阻力调整进给速度，并及时体现更换磨具。

主权项：1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，包括：底座（1），所述底座（1）的顶部设置有控制器（14）和用于固定靶材的固定夹具；磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框（4）、平移板（5）、安装架（601）、侧板（606）和磨削轮（6），所述磨削轮（6）转动安装在所述安装架（601）内，所述平移板（5）滑动连接在所述升降框（4）内，且所述升降框（4）内转动安装有两个丝杆（501），所述平移板（5）螺纹套接在两个丝杆（501）的外侧，且所述丝杆（501）上固定安装有从动齿轮（502），所述升降框（4）的一侧内壁上固定安装有驱动电机（504），所述驱动电机（504）的输出轴上固定连接有主动齿轮（503），两个所述从动齿轮（502）均与所述主动齿轮（503）相啮合，所述侧板（606）的一侧固定安装有安装杆，所述安装杆的底端固定连接有用于监测磨削区域温度的红外测温仪（13）；冷却机构，用于对靶材和磨削轮（6）进行冷却，所述冷却机构包括压缩箱（7）、喷淋筒（8）、连接轴（9）和旋转电机（903），所述驱动电机（504）和红外测温仪（13）与控制器（14）电性连接，所述红外测温仪（13）监测磨削区域温度超过阈值时通过控制器（14）控制旋转电机（903）的输出转速提升，所述连接轴（9）转动连接在所述压缩箱（7）的顶部，所述喷淋筒（8）的外侧连通有多个喷嘴（801）；所述压缩箱（7）的两侧分别连通有第一U型管（701）和第二U型管（703），所述第一U型管（701）和第二U型管（703）的两端均设置有单向阀（705），且所述第一U型管（701）的另一端连通有冷却供水管（702），所述第二U型管（703）的另一端连通有导出管（704），所述喷淋筒（8）的顶部连通有导入管（802），所述导入管（802）的另一端与所述导出管（704）的另一端连通；所述压缩箱（7）的内部滑动密封安装有活塞板（706），所述活塞板（706）的顶部固定安装有竖杆（707），所述竖杆（707）的顶端固定连接有方框（708），所述方框（708）内滑动安装有方板（709），所述压缩箱（7）的顶部固定安装有机座和两个固定板（904），所述旋转电机（903）固定安装在所述机座的顶部，所述连接轴（9）转动连接在两个所述固定板（904）内，且所述连接轴（9）的两端均固定连接有转动臂（711），所述转动臂（711）的另一侧固定连接有圆杆（710），两个所述方板（709）分别转动套接在对应的所述圆杆（710）的外侧，且所述连接轴（9）的外侧固定套接有从动锥齿轮（901），所述旋转电机（903）的输出轴上固定连接有主动锥齿轮（902），所述主动锥齿轮（902）与所述从动锥齿轮（901）相啮合；两个所述固定板（904）之间固定连接有同一个电阻条（10），所述电阻条（10）的外侧滑动套接有两个导电框（11），所述电阻条（10）和导电框（11）串联接入驱动电机（504）的电路内；所述导电框（11）的底部固定安装有导向板，所述压缩箱（7）的顶部开设有导向槽，两个所述导向板均滑动连接在所述导向槽内，且所述导电框（11）的顶部固定连接有竖板（12），所述连接轴（9）的外侧滑动套接有两个套筒（905），两个所述套筒（905）分别转动连接在对应的所述竖板（12）内；所述连接轴（9）的外侧固定安装有两个转板（910），所述转板（910）的外侧滑动套接有两个套板（908），位于同一侧的两个所述套板（908）相互靠近的一侧均固定连接有拉绳（906），所述拉绳（906）的另一端与对应的所述套筒（905）固定连接，且所述套板（908）的另一侧固定连接有压簧（909），所述压簧（909）的另一端固定连接有挡板，所述挡板固定连接在对应的所述转板（910）的外侧，且所述转板（910）的一侧转动安装有两个定滑轮（907），所述拉绳（906）绕设于对应的所述定滑轮（907）的外侧；所述连接轴（9）的前后两侧均一体成型有导向凸起，所述套筒（905）滑动套接在所述导向凸起的外侧，且所述套筒（905）的一端一体成型有限位凸起，所述限位凸起活动抵接在对应的所述竖板（12）的一侧，且所述套筒（905）的另一端固定连接有限位圈，所述限位圈活动抵接在对应的所述竖板（12）的另一侧；所述安装架（601）的前侧固定安装有磨削电机（602），所述磨削轮（6）固定连接在所述磨削电机（602）的输出轴上，且所述安装架（601）的顶部固定连接有横板（603），所述侧板（606）的底部固定安装有安装板，所述安装板与所述横板（603）之间固定连接有第一压力传感器（604），且所述安装板的底部两侧均固定连接有立板（608），所述横板（603）滑动套接在所述立板（608）的外侧，所述立板（608）的底部固定安装有限位板，所述限位板活动抵接在所述横板（603）的底部，且所述侧板（606）与所述平移板（5）之间固定连接有第二压力传感器（605），所述安装板的顶部固定连接有滑轨（607），所述平移板（5）滑动套接在所述滑轨（607）的外侧。

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