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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于金相试样制备技术领域，公开了一种锗锑硒碲靶材金相显示的方法，包括：锗锑硒碲靶材经过切割、镶样、粗磨、精磨、粗抛、精抛后，得到锗锑硒碲靶材试样；锗锑硒碲靶材试样在腐蚀液中进行金相腐蚀，清洗、干燥后，得到锗锑硒碲靶材金相试样；所述腐蚀液为氯酸钾（KClO3）、氢氧化钠（NaOH）和水的混合溶液。采用碱性溶液作为腐蚀液，避免了强酸腐蚀剂的使用，尤其是避免了含有氢氟酸的强酸腐蚀剂的应用，安全环保。
主权项：1.一种锗锑硒碲靶材金相显示的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）锗锑硒碲靶材经过切割、镶样、粗磨、精磨、粗抛、精抛后，得到锗锑硒碲靶材试样；（2）锗锑硒碲靶材试样在腐蚀液中进行金相腐蚀，清洗、干燥后，得到锗锑硒碲靶材金相试样；所述腐蚀液为氯酸钾、氢氧化钠和水的混合溶液。
全文数据：
权利要求：
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