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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于溅射靶材制备领域，公开了一种氟化镁靶材的制备方法。包括以下步骤：将装有氟化镁粉末的模具进行预压；预压后的装有氟化镁粉末的模具在真空条件下依次进行一段加热和二段加热：一段加热的温度为400~500℃；二段加热的温度为850~930℃，二段加热5~10min后开始加压，加压压力为50~60MPa，加压至二段加热结束，释放压力；冷却模具，取出氟化镁靶材坯料，加工后得氟化镁靶材。本发明采用两段式升温加热，可以保证靶材坯体制备过程中的受热均匀，在第二段加热过程中进行加压，保证靶材制备过程中的密度和硬度性能，最终制备得到的靶材致密度高，硬度高，质量稳定。
主权项：1.一种氟化镁靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将装有氟化镁粉末的模具进行预压；（2）预压后的装有氟化镁粉末的模具在真空条件下依次进行一段加热和二段加热：一段加热的温度为400~500℃，一段加热的时长为30~60min；二段加热的温度为850~930℃，二段加热的时长为45~60min；其中，二段加热5~10min后开始加压，加压压力为50~60MPa，加压至二段加热结束，释放压力；（3）冷却模具，取出氟化镁靶材坯料，加工后得氟化镁靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氟化镁靶材及其制备方法
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