龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于太阳能靶材领域，公开了一种氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，该方法先将金属氧化物、助剂、去离子水混合进行制浆球磨，过筛，得到粉体一；再将得到的粉体一烘干，破碎过筛，得到粉体二；而后将得到的粉体二进行模压，冷等静压成型，得到靶材前驱体；最后将得到的靶材前驱体置于烧结炉中，烧结，降至室温，得到氧化铟钛钽铈靶材，此外，还公开了一种氧化铟钛钽铈靶材，通过对氧化铟铈钽钛靶材掺杂离子半径相近的锡元素，并且采用两步法烧结工艺，实现了靶材的致密度以及电子迁移率的提升和改善。
主权项：1.一种氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：步骤1：将金属氧化物、助剂、去离子水混合进行制浆球磨，过筛，得到粉体一；步骤2：将步骤1得到的粉体一烘干、破碎、过筛，得到粉体二；步骤3：将步骤2得到的粉体二进行模压，冷等静压成型，得到靶材前驱体；步骤4：将步骤3得到的靶材前驱体置于烧结炉中烧结、冷却，得到氧化铟钛钽铈靶材；所述步骤1的金属氧化物为氧化铟、氧化钛、氧化钽、氧化铈；所述步骤4中烧结工艺为：在有氧的条件下，以0.05～0.5℃min升温至400～900℃，保温3～6h；再以0.5～1℃min升温至1350～1500℃，而后以1～3℃min降温至1200～1350℃，保温15～30h。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号