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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要：本发明属于靶材加工技术领域，且公开了一种靶材加工装置及其加工方法，包括两个安装架以及固定在安装架顶部的连接曲板，所述安装架的上方设有隔档组件，所述隔档组件的顶部和底部分别固定设有上料筒和一号弧筒。本发明通过将气体输入到复合处理组件的内部，配合夹持部从内部对管状靶材进行夹持固定，并将管状靶材限定在环绕空间中，配合旋转状态的管状靶材，利用限定环绕空间中喷入的雾化涂层，在转动下快速完成管状靶材外表面的全面涂覆，实际管状靶材涂层加工处理效果好，单次处理即可完整外表面的全面涂布处理，并配合环绕空间，避免喷涂的雾化涂料快速分散到环境中，减小泄漏和浪费，大大提高了实际喷涂加工效率。
主权项：1.一种靶材加工装置，包括两个安装架（1）以及固定在安装架（1）顶部的连接曲板（2），其特征在于：所述安装架（1）的上方设有隔档组件（4），所述隔档组件（4）的顶部和底部分别固定设有上料筒（3）和一号弧筒（5），所述隔档组件（4）控制上料筒（3）和一号弧筒（5）的贯通，所述隔档组件（4）的侧面与连接曲板（2）固定连接，两个所述安装架（1）之间摆动设有装配组件（7），所述装配组件（7）的顶部固定设有二号弧筒（11），所述装配组件（7）的顶部转动安装有复合处理组件（9），所述复合处理组件（9）的外表面固定连通有夹持部（10），所述复合处理组件（9）和夹持部（10）均位于二号弧筒（11）中，所述装配组件（7）的底部分别设有驱动电机（12）和供气部（13），所述供气部（13）将气体输入至复合处理组件（9）中，两个所述安装架（1）的背面设有喷涂组件（6），所述喷涂组件（6）的喷出端与一号弧筒（5）固定连通；所述复合处理组件（9）包括转动套（91），固定套接在转动套（91）外表面上的齿轮二（92）和限位板（94），开设在转动套（91）中的内部腔（93），固定安装在内部腔（93）中的加热管（95）以及固定安装在转动套（91）侧面上的压力阀（96）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司 一种靶材加工装置及其加工方法
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