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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型提供了靶材小车的行走限位结构和磁控溅射镀膜装置，该行走限位结构包括：行走大轮、弧形限位件、三边限位框以及用于与靶材小车连接的连接架；行走大轮与连接架的一端连接，连接架的另一端与靶材小车连接；两个所述弧形限位件分别位于行走大轮的两侧；三边限位框两个侧边平行，且两个侧边在三边限位框开口一端设置弧形延长段；弧形限位件移动至与三边限位框接触时，两个弧形延长段分别在两个弧形限位件的外侧。行走限位结构中设置一个行走大轮和弧形限位块以及三边限位框，通过弧形限位块和三边限位框的配合，对行走大轮的路径进行微调调正，从而使磁控溅射镀膜装置中的辊系与镀膜主辊的平行度得到保证，以使镀膜均匀。
主权项：1.靶材小车的行走限位结构，其特征在于，包括：行走大轮1、弧形限位件、三边限位框4以及用于与靶材小车连接的连接架2；所述行走大轮1与所述连接架2的一端连接，所述连接架2的另一端与所述靶材小车连接；两个所述弧形限位件分别位于所述行走大轮1的两侧；所述三边限位框4两个侧边平行，且两个所述侧边在所述三边限位框4开口一端设置弧形延长段41；所述弧形限位件移动至与所述三边限位框4接触时，两个所述弧形延长段41分别在两个所述弧形限位件的外侧，两个所述侧边的间距与两个所述弧形限位件的外沿的间距匹配。
全文数据：
权利要求：
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