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一种锅型靶材组件的焊接方法 

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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

摘要:本发明涉及一种锅型靶材组件的焊接方法,所述焊接方法包括如下步骤:1将锅型钽靶材与铌法兰环件的焊接面分别进行预处理,得到待焊接靶材与待焊接环件;2将步骤1所得待焊接靶材与待焊接环件装配后依次进行第一电子束焊接处理与第二电子束焊接处理,机加工后得到所述锅型靶材组件。本发明采用与锅型钽靶材易焊接且熔点相近的铌法兰环件进行电子束焊接,可以有效提高加工效率、降低成本,同时保证较高的焊接强度,还可以避免出现焊接不良的问题。

主权项:1.一种锅型靶材组件的焊接方法,其特征在于,所述焊接方法包括如下步骤:1将锅型钽靶材与铌法兰环件的焊接面分别进行预处理,得到待焊接靶材与待焊接环件;2将步骤1所得待焊接靶材与待焊接环件装配后依次进行第一电子束焊接处理与第二电子束焊接处理,机加工后得到所述锅型靶材组件。

全文数据:

权利要求:

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