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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种锆基合金靶材及其制备方法和用途，所述制备方法包括：将包括锆单质的靶材原料在保护性气氛中进行真空熔炼，冷却后得到锆基合金锭材；将锆基合金锭材熔融后进行气雾化，得到锆基合金粉末；将锆基合金粉末进行热压烧结，再经机加工，得到锆基合金靶材。本发明所述方法先将靶材原料熔炼得到合金，再采用气雾化的方式将其破碎，凝固后形成合金粉末，再通过热压烧结的方式，促进粉末颗粒的接触扩散，从而得到高致密度、高纯度的合金靶材，晶粒组织均匀性强，用于制备吸气剂薄膜时，薄膜的均匀性强，通过对合金材质及含量的控制，保证吸气剂激活温度低，使用方便，吸气性能优异；所述方法操作简便，成本较低，容易实现量产。
主权项：1.一种锆基合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1将包括锆单质的靶材原料在保护性气氛中进行真空熔炼，冷却后得到锆基合金锭材；2将步骤1得到的锆基合金锭材熔融后进行气雾化，得到锆基合金粉末；3将步骤2得到的锆基合金粉末进行热压烧结，再经机加工，得到锆基合金靶材。
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百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种锆基合金靶材及其制备方法和用途
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