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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种铝基旋转靶材及其制备方法。本申请提供的铝基旋转靶材的制备方法，所述铝基旋转靶材靶材的结构由靶材管坯以及涂覆过渡层的靶材背管组成；包括以下步骤：将Al粉和Me金属粉混合均匀，进行加热真空脱气、热等静压、加工后得到靶材管坯；将背管进行加工后表面喷砂处理，涂覆过渡层，得到靶材背管；将靶材背管放入液氮中进行冷冻处理，取出后插入靶材管坯中，静置至常温状态；将组合后的含背管的靶材进行烧结，进行成品加工即得。利用本申请的技术方案，通过先制作管坯，然后将管坯和背管复合的方式可实现高密度靶材的制备，同时解决了弯曲变形的问题。
主权项：1.一种铝基旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述铝基旋转靶材靶材的结构由靶材管坯以及涂覆过渡层的靶材背管组成；具体包括以下步骤：（1）将Al粉和Me金属粉按照30at%≤Al100at%，0Me≤70at%的比例混合均匀，然后装入包套内进行加热真空脱气；脱气温度为400~600℃，脱气真空度为1×10~1~1×10~3Pa，脱气时间4~10h；所述Me金属材料选自Ti、Cr、Nb、W、Mo、Cu、Zr、Y、Ta、Ni的一种或多种；（2）脱气后的包套放入热等静压炉内进行成型处理，处理温度为400~600℃，压力100~150MPa，保温保压时间为2~6h；（3）将背管按靶材成品尺寸要求进行加工后表面喷砂处理，然后在背管表面涂覆一层厚度0.2~0.6mm的过渡层，得到外径尺寸为D1的含过渡层的靶材背管；（4）将步骤（2）中热等静压后的坯料去除内外包套，进行内孔和外圆加工，内孔尺寸为D2=D1-（0.05~0.2）mm，外径尺寸根据靶材成品尺寸+2~+4mm进行加工，得到靶材管坯；（5）将靶材背管放入液氮中进行冷冻处理0.5~3h；（6）将冷冻后的靶材背管快速取出，然后插入所述靶材管坯中，静置至常温状态；（7）将组合后的含背管的靶材进行烧结，烧结温度300~500℃，烧结时间0.5~2h；然后进行成品加工即得。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种铝基旋转靶材及其制备方法
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