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申请/专利权人:中山智隆新材料科技有限公司
摘要:本发明公开了一种氧化铟锡靶材及其制备方法和应用;本发明提供的一种氧化铟锡靶材,包括如下的原料:In2O3和玻璃粉;所述玻璃粉的成分包括SnO2、ZnO和B2O3。本发明选择以B2O3为玻璃网络形成剂、ZnO的玻璃态稳定剂,SnO2为玻璃的基体材料,将各种氧化物以玻璃粉的形式掺杂到In2O3中,能够显著降低烧结温度和细化晶粒尺寸,提高了靶材的致密度。
主权项:1.一种氧化铟锡靶材,其特征在于,包括如下的原料:In2O3和玻璃粉;所述玻璃粉的成分包括SnO2、ZnO和B2O3。
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百度查询: 中山智隆新材料科技有限公司 一种氧化铟锡靶材及其制备方法和应用
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