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申请/专利权人：苏州高芯众科半导体有限公司
摘要：本发明涉及研磨设备技术领域，具体公开了精密产品平面研磨修饰装置，包括工作台；工作台顶面上固接有研磨盒；研磨盒底端内侧壁上转动连接有旋转轴；旋转轴顶端同轴可拆卸安装有位于研磨盒内的研磨盘；工作台底部设置有可驱使旋转轴转动的动力机构；研磨盒内设置有多个夹持限位机构；多个夹持限位机构可配合实现对放置在研磨盘上工件的夹持限位；通过研磨盒内设置的多个夹持限位机构配合工作对工件进行夹持限位来代替人工手持工件，提高工件研磨加工过程中的安全系数。
主权项：1.精密产品平面研磨修饰装置，其特征在于：包括工作台1；所述工作台1顶面上固接有研磨盒2；所述研磨盒2底端内侧壁上转动连接有旋转轴21；所述旋转轴21顶端同轴可拆卸安装有位于研磨盒2内的研磨盘3；所述工作台1底部设置有可驱使旋转轴21转动的动力机构4；所述研磨盒2内设置有多个夹持限位机构5；多个所述夹持限位机构5沿研磨盘3外周均匀间隔排布，多个夹持限位机构5可配合实现对放置在研磨盘3上工件的夹持限位。
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权利要求：
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