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申请/专利权人：烟台奇创芯源科技有限公司
摘要：本申请公开了一种红外偏振探测器制备方法及红外偏振探测器，属于红外偏振技术领域。采用硅衬底作为衬底，并在硅衬底表面形成光栅后，进一步以光栅为掩膜向下刻蚀硅衬底，在硅衬底内部形成沟槽，得到光栅和沟槽两种结构叠加形成的偏振结构，具有以下有益效果：介质层附着力与结构更加稳定；能够形成陡度优于光栅的高陡直度偏振结构，有助于提升消光比；基于标准硅刻蚀技术能够形成良好线宽；硅衬底的厚度可以比传统碲镉镉衬底更厚一些，对厚度均匀性要求更低；降低了传统碲锌镉基碲镉汞红外偏振探测器的片上微图形的加工难度。
主权项：1.一种红外偏振探测器制备方法，其特征在于，包括：将芯片与读出电路互连，得到混成芯片；所述芯片包括沿背离所述读出电路方向依次设置的吸收层和硅衬底；在所述硅衬底背离所述读出电路的一侧表面沉积介质层；对所述介质层进行图形化处理，形成光栅；所述光栅和像元一一对应；所述光栅包括平行排列的栅条；以所述光栅为掩膜，对所述硅衬底进行刻蚀，在相邻所述栅条之间的所述硅衬底内部形成沟槽，得到具有偏振结构的红外偏振探测器；所述光栅和所述沟槽形成所述偏振结构。
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权利要求：
百度查询： 烟台奇创芯源科技有限公司 一种红外偏振探测器制备方法及红外偏振探测器
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