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申请/专利权人：诺克西有限公司
摘要：本发明涉及用于制备锂电池用硅负极的方法，其中，将由硅制成的活性层沉积在基底上，优选沉积在铜基底上，随后对所述活性层进行快速热退火。本发明的目的在于提供方法，通过该方法可以将制备的锂电池用硅负极的沉积层中的应力降至最低，并且该方法易于集成到现有的制备工艺中。具体方法为：在涂覆活性层之前，通过工艺对基底表面进行结构化；通过工艺对未结构化的基底表面进行修饰；或者在制备过程中，通过光刻和随后的物理沉积工艺，优选通过溅射或气相沉积，以及退火工艺，优选快速退火工艺，对活性层进行结构化，从而形成片段。
主权项：1.用于制备锂电池用硅负极的方法，其中，将硅活性层11沉积在基底10上，优选沉积在铜基底上，随后对所述活性层进行快速热退火12，其特征在于，在涂覆所述活性层11之前，通过工艺对基底表面进行结构化17。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 诺克西有限公司 锂离子电池用硅负极及其制备方法
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