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申请/专利权人：鑫益邦半导体(江苏)有限公司
摘要：本发明提供了一种高精度键合的修正系统，具有XY平台，探测单元，上键合头，下键合头，另有控制器、修正单元。所述的探测单元固定连接在XY平台的一端，能够跟随移动。所述的探测单元，具有矩形夹持架，在同一侧正对夹持架内部的两只摄像头。在矩形夹持架的另一侧的两角落分别设置有一只等边直角三棱镜，在该侧两只直角三棱镜之间预置有一个贯通上下表面的圆柱体空腔，在圆柱体空腔中设置有一只成45°倾斜角的双面镜。此发明探测单元可以同时抓取上下被摄物的图像，使用效率较高；探测单元可在修正单元内进行修正，提升半导体键合装置的键合精度。
主权项：1.一种高精度键合的修正系统，具有XY平台（5）、探测单元（4）、上键合头（1）、下键合头（8）、控制器，其特征在于：另有修正单元；所述的探测单元（4）固定连接在XY平台（5）的一端，能够跟随在X轴向轨道和Y轴向轨道做前后、左右的移动；所述的探测单元（4），具有上下表面平行的矩形夹持架，在矩形夹持架的同一侧固定连接有正对夹持架内部的两只摄像头（11、12）；在矩形夹持架的另一侧内部的左右两角落分别设置有一只等边直角三棱镜（13、14），两只直角三棱镜（13、14）的斜面遥遥相对；在该侧两只直角三棱镜（13、14）之间预置有一个贯通上下表面的圆柱体空腔，在圆柱体空腔中设置有一只与矩形夹持架上下表面成45°倾斜角的双面镜（15）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鑫益邦半导体(江苏)有限公司 高精度键合的修正系统
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