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申请/专利权人：国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;国网江苏省电力有限公司;江苏省电力试验研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种MEMS光纤超声传感器及其制备方法，属于声波测量技术领域，MEMS光纤超声传感器包括：变截面梁敏感膜片、光纤套筒和单模光纤；变截面梁敏感膜片包括依次堆叠的第一硅层、二氧化硅层和第二硅层，第一硅层包括中心膜片和连接中心膜片的变截面梁结构，第二硅层与二氧化硅层形成阶梯型结构，第一硅层朝向阶梯型结构的一侧镀有金属膜；光纤套筒的一端嵌套于阶梯型结构内；单模光纤穿入光纤套筒内，由设于单模光纤端面的反射面与金属膜形成用于测量超声波声压值的法布里珀罗干涉腔。该MEMS光纤超声传感器灵敏度高、稳定性好。
主权项：1.一种MEMS光纤超声传感器，其特征在于，包括变截面梁敏感膜片（1）、光纤套筒（2）和单模光纤（3）；所述变截面梁敏感膜片（1）包括依次堆叠的第一硅层（11）、二氧化硅层（12）和第二硅层（13），所述第一硅层（11）包括中心膜片（111）和连接所述中心膜片（111）的变截面梁结构（112），所述第二硅层（13）与所述二氧化硅层（12）形成阶梯型结构，所述第一硅层（11）朝向所述阶梯型结构的一侧镀有金属膜（14）；所述光纤套筒（2）的一端嵌套于所述阶梯型结构内；所述单模光纤（3）穿入所述光纤套筒（2）内，由设于所述单模光纤（3）端面的反射面与所述金属膜（14）以及所述阶梯型结构的内壁形成用于测量超声波声压值的法布里珀罗干涉腔；其中，所述单模光纤（3）向所述金属膜（14）发出入射光，接收由所述法布里珀罗干涉腔反射的反射光，并基于超声波声压作用下法布里珀罗干涉腔的腔长变化引起的反射光的光程差，获取超声波声压值。
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