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申请/专利权人：苏州博海创业微系统有限公司
摘要：本发明公开了基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列，机械天线包括由上到下依次相接的永磁体、磁致伸缩模块、第一电极、压电模块、第二电极。第一电极、第二电极激励压电模块发生压电效应，产生振动，驱动磁致伸缩模块、永磁体振动，形成电磁场。低频机械天线阵列，采用上述机械天线，多个阵列分布的机械天线通过MEMS工艺集成在LTCC介质板上。本发明提出基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列，能够结合需求，按照一定规律排列集成，产生较好的辐射场强，并且还能减小器件的体积，提升了系统的集成度，为实现设备的小型化提供可能。
主权项：1.基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列，其特征在于，包括一个LTCC介质板（11）和多个机械天线（10），多个机械天线（10）阵列分布，通过MEMS工艺集成在LTCC介质板（11）上；所述机械天线（10）包括由上到下依次相接的永磁体（1）、磁致伸缩模块（2）、第一电极（3）、压电模块（5）、第二电极（4）；所述第一电极（3）、第二电极（4）的端部分别电连接到激励电源（6）两端，激励电源（6）上电时，第一电极（3）、第二电极（4）激励压电模块（5）发生压电效应，产生振动，驱动磁致伸缩模块（2）、永磁体（1）振动，形成电磁场。
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权利要求：
百度查询： 苏州博海创业微系统有限公司 基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列
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