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申请/专利权人：欧姆龙株式会社
摘要：本公开的一方面所涉及的吸附垫112是通过负压吸附对象物61的吸附垫，该吸附垫具备固定于支承体126的固定部117、以及由于所述负压而变形的可变部118，在可变部118中相对于所述固定部117的位置随着变形而变化的相互分离的多个部位形成有能够光学识别的图案，所述图案是跨所述多个部位而连续的图案、或者是分别形成于所述多个部位中的每个部位的多个图案。
主权项：1.一种吸附垫，通过负压吸附对象物，所述吸附垫具备：固定部，固定于支承体；以及可变部，由于所述负压而变形，在所述可变部中相对于所述固定部的位置随着变形而变化的彼此分离的多个部位，形成有能够光学识别的图案，所述图案是跨所述多个部位而连续的图案、或者是分别形成于所述多个部位中的每个部位的多个图案，所述图案用于测量所述吸附垫的变形量，并能够根据所述变形量检测所述吸附垫与所述对象物是否接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧姆龙株式会社 吸附垫及变形测量装置
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