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申请/专利权人:朗姆研究公司
摘要:一种边缘环被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低。所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和或中部环向上延伸的引导特征对接。所述边缘环包括:上表面;环形内径;环形外径;下表面;以及环形凹槽,所述环形凹槽被布置在所述边缘环的所述下表面中,以与所述引导特征对接。所述环形凹槽的壁是基本竖直的。
主权项:1.一种边缘环,其被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低,并且经由气锁去除,所述边缘环包括:上表面;环形内径;环形外径;以及下表面,其中,所述边缘环的所述上表面被配置为支撑布置在所述衬底支撑件上的衬底的外边缘,其中,所述边缘环的所述上表面的上部外拐角被倒角,其中倒角的上部拐角被配置为便于通过气锁去除所述边缘环,并且其中所述环形外径的尺寸设计成允许通过所述气锁去除。
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