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申请/专利权人：江苏大学
摘要：本发明提供了一种高灵敏度太赫兹传感器，包括：基底；金属微结构阵列，包括若干金属微结构单元，所述金属微结构阵列覆盖于所述基底上，形成超表面；金属纳米结构，所述金属纳米结构位于所述金属微结构阵列的缝隙处；其中，所述金属微结构阵列以及金属纳米结构均通过脉冲激光直写刻蚀基底上的金属薄膜形成。本发明通过超表面和金属纳米结构协同增强太赫兹波，促进太赫兹波与分析物充分作用，提升太赫兹检测灵敏度。
主权项：1.一种高灵敏度太赫兹传感器的制备方法，其特征在于，所述传感器包括：基底；金属微结构阵列，包括若干金属微结构单元，所述金属微结构阵列覆盖于所述基底上，形成超表面；金属纳米结构，所述金属纳米结构位于所述金属微结构阵列的缝隙处；所述制备方法包括：步骤一：调节脉冲激光器参数，激光功率密度为1mJcm2、脉宽为10ns、波长为1064nm；步骤二：将脉冲激光聚焦到银膜表面；步骤三：根据金属微结构形状调节脉冲激光路径，进行加工，激光的扫描速度为10mms，激光扫过的路径处金属薄膜熔融，随后在表面张力作用下形成均匀纳米金属结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏大学 一种高灵敏度太赫兹传感器及其制备方法
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