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申请/专利权人：青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体材料检测技术领域，具体为一种探针更换装置，包括载台、旋转台、夹持机构和吸取机构；旋转台转动设于载台上，旋转台能够放置探针；夹持机构设于载台上，用于夹持并移动旋转台上的探针；吸取机构包括滑轨架、支撑架和真空吸笔，滑轨架设于载台上，真空吸笔沿竖直方向可移动设于支撑架上；支撑架沿滑轨架的延伸方向滑动设于滑轨架上，以使真空吸笔能够吸取夹持机构夹持的探针，并将探针移动至显微镜上。本实用新型降低了探针在显微镜上的安装难度，避免了探针出现掉落而损坏的情况以及多次夹取调整探针而对探针造成损坏的情况，且真空吸笔在将探针安装于显微镜上时，真空吸笔不会与显微镜产生碰撞而损坏显微镜。
主权项：1.一种探针更换装置，用于将探针安装于显微镜上，其特征在于，所述探针更换装置包括载台1以及：旋转台2，所述旋转台2转动设于所述载台1上，所述旋转台2能够放置所述探针；夹持机构3，所述夹持机构3设于所述载台1上，用于夹持并移动所述旋转台2上的所述探针；吸取机构4，所述吸取机构4包括滑轨架41、支撑架42和真空吸笔43，所述滑轨架41设于所述载台1上，所述真空吸笔43沿竖直方向可移动设于所述支撑架42上；所述支撑架42沿所述滑轨架41的延伸方向滑动设于所述滑轨架41上，以使所述真空吸笔43能够吸取所述夹持机构3夹持的所述探针，并将所述探针移动至所述显微镜上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司 一种探针更换装置
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