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申请/专利权人：日月光半导体制造股份有限公司
摘要：本申请公开了一种电镀夹具，包括：第一夹板；第二夹板，与第一夹板相配合而夹持被固定物；弹簧轴，设置于第一夹板与第二夹板之间，其中，弹簧轴的弹力用以提供电镀夹具夹持被固定物的力量；施力件，设置于第一夹板上并连接于弹簧轴，弹簧轴的弹力透过施力件驱动第一夹板夹持被固定物；刚性加强件，与施力件堆叠设置。本申请的上述技术方案，借由在电镀夹具刚性较弱的受力点处叠加刚性加强件，可以加强受力点处的刚性，提高夹持被固定物时的下压力，降低形变量，提升夹持力量；使得密封件达到密合，避免了电镀液渗漏至电镀夹具内，避免了电镀夹具因漏液造成的结晶问题，提升了电镀均匀性及制程质量。
主权项：1.一种电镀夹具，其特征在于，包括：第一夹板；第二夹板，与所述第一夹板相配合而夹持被固定物；弹簧轴，设置于所述第一夹板与所述第二夹板之间，其中，所述弹簧轴的弹力用以提供所述电镀夹具夹持所述被固定物的力量；施力件，设置于所述第一夹板上并连接于所述弹簧轴，所述弹簧轴的弹力透过所述施力件驱动所述第一夹板夹持所述被固定物；刚性加强件，与所述施力件堆叠设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日月光半导体制造股份有限公司 电镀夹具
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